Cartouches filtrantes de poudre d'acier inoxydable de 5 microns avec le magnétoscope 1/2" interfaces
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Cartouches filtrantes de poudre d'acier inoxydable de 5 microns avec le magnétoscope 1/2" interfaces

Cartouches filtrantes de poudre d'acier inoxydable de 5 microns avec le magnétoscope 1/2" interfaces

Matériau : poudre 316L
Taille : φ40*196,3 mm
Précision du filtre : 5 microns
Interface : magnétoscope 1/2"
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Présentation du produit

Les cartouches filtrantes à poudre en acier inoxydable avec interfaces VCR 1/2" sont des composants essentiels dans la fabrication de semi-conducteurs, spécialement conçues pour les systèmes de distribution de gaz de haute pureté. Ces cartouches filtrantes utilisent une technologie avancée de frittage de poudre métallique pour obtenir une filtration précise, capturant efficacement les particules aussi petites que 5 microns. Cela garantit la fourniture de gaz de processus ultra-propres, essentiels au maintien de l'intégrité des processus sensibles de fabrication de semi-conducteurs. L'interface VCR 1/2" fournit un joint étanche-métal-à-métal, répondant aux exigences strictes des environnements de semi-conducteurs où même des impuretés de gaz infimes peuvent entraîner des défauts importants dans les dispositifs microélectroniques. Leur construction robuste en acier inoxydable résistant à la corrosion-garantit une durabilité et une fiabilité à long terme-dans des conditions extrêmes.

 

Dans les applications de semi-conducteurs, ces cartouches filtrantes jouent un rôle essentiel dans la protection des équipements en aval tels que les régulateurs de débit massique et les vannes de précision contre la contamination particulaire. En s'intégrant parfaitement aux conduites de gaz-de haute pureté existantes, ils simplifient l'installation et la maintenance tout en minimisant les temps d'arrêt du système. La combinaison d'une efficacité de filtration élevée, d'une résistance chimique exceptionnelle et d'une étanchéité fiable les rend indispensables pour garantir une pureté de gaz constante et une efficacité opérationnelle dans les installations de production de semi-conducteurs avancées.

 

Spécifications des produits
5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

Matériau : poudre 316L
Taille : φ40*196,3 mm
Précision du filtre : 5 microns
Interface : magnétoscope 1/2"
Technique : Frittage

Caractéristiques des produits
5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces 3

1. Ultra-haute pureté et rétention des particules
- La structure en acier inoxydable fritté (généralement 316 L) fournit un support de filtration propre et entièrement métallique, sans liants, adhésifs ou résidus organiques.
- Capable de retenir des particules submicroniques jusqu'à 0,5 μm, empêchant ainsi la microcontamination d'atteindre les chambres de traitement ou les plaquettes.
- Aucune perte de particules, garantissant un nombre de particules stable lors d'une utilisation à long terme.

 

2. Stabilité mécanique et thermique robuste
- La conception entièrement métallique résiste aux pressions élevées, aux températures élevées et aux cycles thermiques fréquents.
- Maintient l'intégrité mécanique dans des conditions de vibration, de flux inversé ou d'impulsions de pression-courantes dans les systèmes de distribution de gaz.
- Compatible avec le traçage thermique des conduites de gaz à haute température.

 

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

 

3. Renettoyable et régénérable
- Les éléments filtrants peuvent être rincés à contre-courant, nettoyés par ultrasons ou cuits sous vide, ce qui permet une longue durée de vie par rapport aux filtres en polymère ou en céramique.
- Le cycle de vie typique s'étend jusqu'à 5 à 10 fois celui des filtres jetables en PTFE ou PVDF, minimisant ainsi les temps d'arrêt et le coût total de possession.

4. Compatibilité chimique et résistance à la corrosion
- 316L'acier inoxydable L maintient un film d'oxyde passif dans les environnements de chlorure, de fluor, d'ammoniac et de gaz acides.
- La surface non réactive empêche l'extraction des ions métalliques ou les modifications de la composition du gaz.

candidatures

 

1. Conduites de distribution de gaz UHP
- Installé dans les skids de livraison de gaz en vrac, les armoires à gaz et les panneaux VMB/VMP, filtrant les particules avant que le gaz ne pénètre dans les MFC ou les outils de traitement.
- Utilisé dans N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH₃, CF₄ et d'autres conduites de gaz de haute pureté alimentant des processus critiques.

 

2. Protection d'entrée du contrôleur de débit massique (MFC)
- Empêche la contamination par les particules et l'usure des vannes dans les régulateurs de débit massique de précision.
- Améliore la stabilité du débit à long terme et la cohérence de l'étalonnage des MFC.

 

3. Chambre de traitement et entrées de gaz pour outils
- Garantit une distribution sans particules et sans humidité dans les fours CVD, ALD, de gravure et de diffusion.
- Utilisé dans les gammes SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃ et TEOS où la pureté est essentielle à la qualité et au rendement du film.

 

4. Systèmes de gaz spéciaux et de précurseurs
- Pour les gaz organométalliques ou à base d'halogènes pour lesquels l'inertie chimique et la stabilité de la température sont cruciales.
- Souvent placé après les vaporisateurs ou les barboteurs pour capturer les particules ou gouttelettes condensées.

 

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