3/4" cartouche filtrante de poudre SS316L agglomérée par fil mâle pour la filtration de circulation de boue de CMP

La cartouche filtrante en poudre SS316L frittée à filetage mâle 3/4" de TOPTITECH est conçue spécifiquement pour la filtration par circulation de boues CMP dans les processus de planarisation de tranches de semi-conducteurs. Le pressage isostatique à froid et le frittage sous vide à haute -température transforment la poudre d'acier inoxydable 316L atomisée en une structure poreuse monolithique rigide avec une distribution contrôlée de la taille des pores. La connexion filetée mâle 3/4" permet une connexion directe remplacement direct-dans les systèmes de distribution de boues CMP existants, y compris les boucles de recirculation et les-assemblages au point d'utilisation-au niveau du collecteur du tampon de polissage. Le mécanisme de filtration en profondeur piège les grosses particules de contaminants-les agglomérats de silice, les débris d'oxyde de cérium et les abrasifs surdimensionnés-au sein du réseau de pores interconnectés tout en maintenant l'intégrité des abrasifs en suspension. Les indices de filtration de 0,2 µm à 65 µm conviennent à la fois aux boues d'oxyde à base de silice- et aux boues STI à base de cérium-.

Les composés de dégradation des boues CMP-tels que les agrégats abrasifs, les particules de gel provenant de la dégradation des tensioactifs, les résidus métalliques provenant de la corrosion des canalisations et les sous-produits bactériens issus du stockage par recirculation-se déposent systématiquement dans le gâteau de filtration à la surface de la cartouche. La construction entièrement métallique-élimine les risques de migration du support courants dans les cartouches à base de polymère ou de fibre-, évitant ainsi les défauts de plaquette en aval, notamment les microrayures, la brume et les dommages causés par la contamination par des particules étrangères.. 3/La cartouche filtrante en poudre SS316L frittée à filetage mâle de 4 pouces résiste aux cycles de nettoyage alcalins répétés (pH 10-12) et à la régénération par ultrasons sans dégradation structurelle. Réutilisable sur plusieurs campagnes de production, cette cartouche offre une durée de vie de 5 à 10 ans. par rapport aux cycles de remplacement de 2 à 4 semaines des alternatives polymères jetables, réduisant considérablement les coûts et les temps d'arrêt des consommables de fabrication de semi-conducteurs.

• Matériel: poudre SS316L
• Taille : φ40*400mm
• Taille des pores : 0,5 um
• Connecteur : 3/4 : filetage mâle
• Porosité : 30 % à 40 %
• Technique : Sinterineg

I. La rétention des particules sans risque de-passage

La poudre sphérique 316L atomisée au gaz se compacte et fritte dans une matrice de filtration en profondeur monolithique, offrant une élimination nominale absolue allant de 0,2 μm à 60 μm. La structure frittée élimine les canaux de dérivation internes et la migration du milieu que l'on retrouve dans les conceptions enroulées ou laminées. La filtration en profondeur capture les agglomérats abrasifs-les agrégats de silice, d'oxyde de cérium et d'alumine-dans tout le réseau poreux, pas seulement en surface. Les caractéristiques sans perte empêchent la contamination des boucles de recirculation du lisier et des ensembles de distribution de tampons en amont. La distribution précise de la taille des pores grâce au pressage isostatique à froid et au frittage sous atmosphère d'hydrogène garantit une efficacité de filtration constante sur plusieurs lots de production.

 

 

II. Capacité élevée de rétention de la saleté et durée de vie prolongée

 

La cartouche à filetage mâle 3/4" offre une grande capacité de rétention des impuretés, capturant les composés de dégradation du lisier-les particules de gel provenant de la dégradation des tensioactifs, les résidus métalliques de la corrosion des canalisations, les sous-produits bactériens du stockage en recirculation-avec une faible chute de pression initiale. La porosité élevée (30 à 40 %) et la structure uniforme des pores maintiennent une perméabilité élevée et une faible résistance à la filtration sous circulation continue du lisier CMP. La durée de vie prolongée réduit la fréquence de changement de filtre, essentielle pour usines de fabrication de plaquettes à haut débit.

III. Stabilité chimique et thermique supérieure

La construction frittée SS316L résiste aux environnements à pH extrême (pH 10-12) trouvés dans les formulations de boues à base de silice et d'oxyde de cérium. La teneur en molybdène offre une résistance aux piqûres et une protection contre la corrosion sous contrainte de chlorure par rapport aux qualités 304L. La structure monolithique entièrement métallique résiste aux dommages causés par les hautes pressions, les cycles de charge alternés et les fluctuations de température pendant le fonctionnement de la pompe de recirculation.

 

IV.Nettoyable, régénérable et faible coût total de possession

 

La construction entièrement métallique prend en charge plusieurs méthodes de nettoyage : rinçage à contre-courant, bain à ultrasons ou combustion par oxydation à haute température. Les cycles de nettoyage alcalin (pH 10-12) et la régénération par ultrasons restaurent la perméabilité d'origine sans dégradation structurelle. La cartouche offre une durée de vie 5 à 10 fois plus longue que les filtres jetables en polymère (PTFE/PVDF) ou à base de fibres, réduisant ainsi considérablement les coûts des consommables et les temps d'arrêt des outils.

V. Mise à niveau directe avec filetage mâle 3/4"

Le raccord fileté NPT mâle 3/4" s'intègre parfaitement aux systèmes de distribution de boues CMP existants-boucles de recirculation, assemblages au point d'utilisation sur les collecteurs de tampons de polissage-sans adaptateurs supplémentaires. Compatible avec les boîtiers de filtre standard, permettant un remplacement sur site en quelques minutes. Les embouts et les interfaces soudés au laser garantissent l'absence de fuite dans les environnements de fabrication de plaquettes à haut débit et à hautes vibrations. Raccords d'extrémité, types de filetage et globalement personnalisables dimensions disponibles selon les exigences du client.

 

VI. Fonctionne dans les applications de gaz et de liquides à haute température

 

S'étend au-delà de la filtration des boues jusqu'aux conduites de distribution de gaz, à la filtration de la vapeur et au transfert de produits chimiques de haute pureté. Convient à la filtration des gaz à haute température jusqu'à 600 degrés, avec une stabilité thermique dans les cycles de stérilisation en autoclave où les membranes polymères se dégradent. Fournit des fonctions supplémentaires : réduction du bruit pour l'échappement pneumatique, tampon de gaz dans les commandes pneumatiques des outils CMP et retardateur de flamme pour les conduites de gaz dangereux.

1. Filtration par circulation de boues CMP dans la planarisation de plaquettes semi-conductrices

La cartouche filtrante en poudre SS316L frittée à filetage mâle 3/4" élimine les agglomérats abrasifs surdimensionnés (silice, cérium, silice colloïdale) de la suspension de planarisation chimico-mécanique tout en préservant les particules de polissage efficaces entre 10 et 200 nm. La matrice de filtration en profondeur retient les particules contaminants- les débris de silice provenant du conditionnement des tampons, les particules de gel provenant de la dégradation des tensioactifs, les résidus métalliques provenant de la corrosion des canalisations - dans le réseau de pores interconnectés sans canaux de dérivation. La rétention absolue élimine les micro-rayures, la brume et les dommages causés par les motifs sur les surfaces des plaquettes, améliorant directement le rendement des puces dans la fabrication de logique et de mémoire avancée. S'adapte directement aux assemblages de point d'utilisation et aux boucles de recirculation des outils CMP, avec un filetage NPT mâle 3/4" permettant un remplacement rapide sur site sans modifications du boîtier.

2. Récupération de catalyseur dans les processus de raffinerie et pétrochimiques

La cartouche filtrante en poudre SS316L frittée à filetage mâle 3/4" fonctionne sous une pression différentielle élevée (> 30 bar) dans les tâches de séparation liquide-solide et gaz-solide dans les hydrocraqueurs, les hydrotraiteurs et les unités FCC. Capture les catalyseurs de métaux précieux (platine, palladium, nickel de Raney) et les catalyseurs de craquage à base de zéolite des flux d'effluents des réacteurs, récupérant les fines du catalyseur jusqu'à 0,5 μm. Porosité ouverte élevée (30 à 50 %) et le réseau fritté rigide résistent à l'érosion causée par les flux de boues catalytiques à grande vitesse, permettant ainsi des cycles de fonctionnement prolongés entre les régénérations de lavage à contre-courant.

3. Purification des gaz et de la vapeur à haute-température

La cartouche filtrante en poudre SS316L frittée à filetage mâle 3/4" résiste à un fonctionnement continu jusqu'à 600 degrés dans des atmosphères oxydantes, ce qui la rend adaptée à la préfiltration par désulfuration des gaz de combustion, à la protection de la sonde du système de surveillance continue des émissions (CEMS) et au dépoussiérage à haute température du gaz de synthèse du gazogène. Effectue une filtration à vapeur sèche à 200-300 degrés, éliminant les particules de rouille, le tartre des tuyaux et les dépôts de carbone qui endommagent les filtres de stérilisation à la vapeur stérile. en aval Applicable également pour l'élimination de l'huile de l'air comprimé, le désembuage dans les coalesceurs gazeux-liquides et la filtration par évent stérile pour les fermenteurs et les bioréacteurs.

4. Traitement des produits chimiques et des solvants corrosifs

La teneur en molybdène 316L offre une résistance aux piqûres dans les milieux contenant du chlorure (eau de mer, eau de Javel, acide chlorhydrique) là où l'acier inoxydable 304 échoue. La cartouche filtrante en poudre SS316L frittée à filetage mâle 3/4" filtre les solvants polaires puissants (DMF, NMP, acétone), l'acide sulfurique concentré, les solutions de soude caustique et les acides organiques sans dégradation des matériaux. La filtration en profondeur capture les fines de catalyseur des réacteurs d'hydrogénation, élimine les résidus de polymérisation des boucles de recirculation des monomères et clarifie les fluides caloporteurs dans les systèmes de raffinerie. Une large compatibilité chimique convient à la fois à la filtration en continu et aux opérations par lots avec des changements de solvant fréquents.

5. Systèmes d’énergie hydrogène et d’électrolyseur

La structure microporeuse frittée 316L sert de couche de diffusion d'hydrogène dans les électrolyseurs PEM et les systèmes d'électrolyse d'eau alcaline. La cartouche filtrante en poudre SS316L frittée à filetage mâle de 3/4" capture les impuretés ioniques et les contaminants particulaires des flux d'électrolyte en recirculation, protégeant ainsi les assemblages d'électrodes à membrane de la dégradation. Également déployée comme élément de séparation gaz-liquide aux sorties de l'électrolyseur, éliminant l'humidité résiduelle du gaz produit hydrogène avant la compression et le stockage.

6. Traitement des eaux industrielles et des eaux usées

La cartouche filtrante en poudre SS316L frittée à filetage mâle 3/4" polit le perméat d'osmose inverse dans les systèmes d'eau ultra pure à semi-conducteurs, éliminant les traces de particules jusqu'à 0,22 μm pour répondre aux normes SEMI pour le rinçage des plaquettes. Déployée dans la filtration de l'eau produite pour l'injection des champs pétrolifères, éliminant les matières en suspension du reflux de fracturation et de la purge de la tour de refroidissement. Également applicable comme filtre de polissage final dans les conduites de retour CIP, capturant les éclaboussures de soudure, les débris de joints et les produits de corrosion. provenant de réseaux de canalisations en acier inoxydable.

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